
| Tên loại | Các giới hạn | ||||||||||
| ≥ 0.1µm | ≥ 0.2µm | ≥ 0.3µm | ≥ 0.4µm | ≥ 0.5µm | |||||||
| SI | English | Đơn vị | Đơn vị | Đơn vị | Đơn vị | Đơn vị | |||||
| M1 |  | 350 | 9.91 | 575 | 2.14 | 20.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | - | - | 
| M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | - | - | 
| M2 |  | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | - | - | 
| M2.5 | 10 | 12400 | 350 | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | - | - | 
| M3 |  | 35000 | 991 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | - | - | 
| M3.5 | 100 | - | - | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | - | - | 
| M4 |  | - | - | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | - | - | 
| M4.5 | 1000 | - | - | - | - | - | - | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 | 
| M5 |  | - | - | - | - | - | - | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | 
| M5.5 | 10000 | - | - | - | - | - | - | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | 
| M6 |  | - | - | - | - | - | - | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | 
| M6.5 | 100000 | - | - | - | - | - | - | 3500000 | 100000 | 24700 | 700 | 
| M7 |  | - | - | - | - | - | - | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 | 
| Loại | Giới hạn nồng độ cho phép (hạt) | |||||
| 0.1µm | 0.2µm | 0.3µm | 0.5µm | 1µm | 5µm | |
| ISO1 | 10 | 2 | - | - | - | - | 
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - | 
| ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - | 
| ISO4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | - | 
| ISO5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 
| ISO6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 
| ISO7 | - | - | - | 352000 | 83200 | 2930 | 
| ISO8 | - | - | - | 3520000 | 832000 | 29300 | 
| ISO9 | - | - | - | 35200000 | 8320000 | 293000 |