Tên loại
|
Các giới hạn
|
||||||||||
≥ 0.1µm
|
≥ 0.2µm
|
≥ 0.3µm
|
≥ 0.4µm
|
≥ 0.5µm
|
|||||||
SI
|
English
|
Đơn vị
|
Đơn vị
|
Đơn vị
|
Đơn vị
|
Đơn vị
|
|||||
M1
|
|
350
|
9.91
|
575
|
2.14
|
20.9
|
0.875
|
10.0
|
0.283
|
-
|
-
|
M1.5
|
1
|
1240
|
35.0
|
265
|
7.50
|
106
|
3.00
|
35.3
|
1.00
|
-
|
-
|
M2
|
|
3500
|
99.1
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
-
|
-
|
M2.5
|
10
|
12400
|
350
|
2650
|
75.0
|
1060
|
30.0
|
353
|
10.0
|
-
|
-
|
M3
|
|
35000
|
991
|
7570
|
214
|
3090
|
87.5
|
1000
|
28.3
|
-
|
-
|
M3.5
|
100
|
-
|
-
|
26500
|
750
|
10600
|
300
|
3530
|
100
|
-
|
-
|
M4
|
|
-
|
-
|
75700
|
2140
|
30900
|
875
|
10000
|
283
|
-
|
-
|
M4.5
|
1000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
35300
|
1000
|
247
|
7.00
|
M5
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
100000
|
2830
|
618
|
17.5
|
M5.5
|
10000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
353000
|
10000
|
2470
|
70.0
|
M6
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
1000000
|
28300
|
6180
|
175
|
M6.5
|
100000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
3500000
|
100000
|
24700
|
700
|
M7
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
10000000
|
283000
|
61800
|
1750
|
Loại
|
Giới hạn nồng độ cho phép (hạt)
|
|||||
0.1µm
|
0.2µm
|
0.3µm
|
0.5µm
|
1µm
|
5µm
|
|
ISO1
|
10
|
2
|
-
|
-
|
-
|
-
|
ISO2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
-
|
-
|
ISO3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
-
|
ISO4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
-
|
ISO5
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
ISO6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
ISO7
|
-
|
-
|
-
|
352000
|
83200
|
2930
|
ISO8
|
-
|
-
|
-
|
3520000
|
832000
|
29300
|
ISO9
|
-
|
-
|
-
|
35200000
|
8320000
|
293000
|