Ứng dụng:
Đầu dò chân không ZIROX phục vụ cho việc xác định áp suất riêng phần oxy trong thiết bị áp suất thấp. Ví dụ điển hình là các phép đo trong các quá trình chân không (PVD, phún xạ magnetron hoặc các quá trình plasma khác), trong các ứng dụng xử lý bề mặt cũng như các phép đo cho các nghiên cứu khoa học vật liệu.
